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线性驱动
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产品概述 Product Overview
全尺寸三维平移台是一款精密平移台，提供X，Y，Z三个方向的自由度，具有很高的可操作性。X/Y方向采用光轴和微分头组合结构，Z方向采用光轴和滚珠丝杆的组合结构。该产品作为模块化产品， 多个配置可供选择。
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规格说明 Specification
● 工作气压：10-11 mbar~1 bar
● 烘烤温度：120℃
● 采用SS316材料焊接的波纹管
● 通径：102mm
● 上端安装法兰：CF法兰，通孔
● 下端安装法兰：CF法兰，螺纹孔
● X/Y驱动：步进电机（分辨率≤2μm，精度≤10μm）+微分头（分辨率5μm）
● Z驱动：步进电机（分辨率≤1μm，精度≤10μm）
● 上下法兰距离（Z零位）：300mm
| A法兰直径 | B法兰直径 | XY行程 | Z行程 | ||
| 毫米 | 英寸 | 毫米 | 英寸 |
毫米 |
|
| 152 | 6 | 203 | 8 | ±12.5 | 可达650 |
产品尺寸 Dimension Drawing
视频 Video
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